195nm-500nm Czerny Turner Spectrometer 3600l/Mm Grating Single Channel

 

สเปกโตรมิเตอร์การปล่อยแสงพลาสมาแบบเหนี่ยวนำคู่ ICP-6800                 

 

   

   

 

 

คุณสมบัติหลักส

ความเสถียรของประสิทธิภาพ:การใช้แหล่งจ่ายไฟ rf แบบ all-solid-state ที่มีขนาดเล็ก ประสิทธิภาพสูง กำลังขับที่เสถียร พร้อมฟังก์ชันการป้องกันที่หลากหลายและข้อดีอื่นๆ อีกมากมาย โหลดโดยใช้เทคโนโลยีการจับคู่อัตโนมัติเต็มรูปแบบ ความเร็วในการจับคู่ ปรับปรุงประสิทธิภาพของ การใช้แหล่งจ่ายไฟและความเสถียรของอุปกรณ์ และทำให้กระบวนการจุดระเบิดทั้งหมดง่ายและสะดวก

ระบบฉีดอัตโนมัติ:ใช้การออกแบบอัตโนมัติสี่ช่องทาง ความเร็วในการหมุนสามารถตั้งค่าตามความต้องการทดสอบเพื่อปรับอัตราการไหล ก๊าซพาหะ ก๊าซพลาสมา ก๊าซเสริมทั้งหมดถูกควบคุมโดยตัวควบคุมการไหลของมวลขั้นสูง ในเวลาเดียวกันสามารถติดตั้งกับ นำเข้าเครื่องพ่นฝอยละอองเกลือสูง นำเข้าเครื่องพ่นฝอยละอองไฮโดรฟลูออริก และอื่น ๆ เพื่อตอบสนองความต้องการในการทดสอบที่หลากหลายของลูกค้า

การวิเคราะห์ที่แม่นยำ:มีการใช้โหมดการกระจายตัวข้ามปริซึมแบบตะแกรงขั้นกลาง ไม่มีองค์ประกอบออปติคอลที่เคลื่อนไหว การออกแบบแสงเล็ดลอดต่ำเป็นพิเศษรวมกับการออกแบบออปติคัลที่ไม่เหมือนใคร การเป่าแบบกระจายไนโตรเจน องค์ประกอบออปติคัลที่นำเข้า อัลกอริทึมการสอบเทียบความยาวคลื่นอัตโนมัติที่ชาญฉลาดและแม่นยำ

การทดสอบด่วน:ในเครื่องตรวจจับ CID แบบเทอร์โมอิเล็กทริกของอเมริกา ช่วง 160-1000 นาโนเมตรจะครอบคลุมอย่างต่อเนื่อง และค่าอินทิกรัลความเข้มของเส้นสเปกตรัมเชิงวิเคราะห์ทั้งหมดจะถูกอ่านออกมาในครั้งเดียวเพื่อเพิ่มความเร็วในการวิเคราะห์

---

 

 

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

 

พารามิเตอร์ทางเทคนิค RFPower

 

ประเภทวงจร: แหล่งจ่ายไฟ RF แบบ solid-state พร้อมฟังก์ชั่น automatch

 

ความถี่ :27.12MHz±0.05%

 

ความเสถียรของความถี่ :<0.1%

 

กำลังขับ :800W-1500W

 

ความเสถียรของกำลังขับ :<0.3%

 

รังสี RF ที่หนีออกมา : ห่างจากเครื่องดนตรี 30 ซม., กระแสไฟฟ้า: E<2Vtm

 

พารามิเตอร์ทางเทคนิคของระบบการสุ่มตัวอย่าง

 

เส้นผ่านศูนย์กลางของคอยล์อิมเมอร์เอาต์พุต: 25 มม

 

ท่อ Torpue:สามศูนย์กลาง เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 20 มม

 

เครื่องพ่นฝอยละอองโคแอกเชียล : เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 6 มม

 

ห้องทำละอองสองกระบอก: เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 34 มม

 

 

การควบคุมการไหลของก๊าซ

 

เครื่องวัดการไหลของอาร์กอนพลาสม่า :(100-1000)L/h(1.6-16L/min)

 

อาร์กอน Fiowmeter เสริม :(100-1000)L/h(0.16-1.6L/min)

 

เครื่องวัดการไหลของอาร์กอนเสริม: (100-1,000) L / h (0.16-1.6L / นาที)

 

ค่ารักษาความดัน :(0-0.4MPa)

 

น้ำหล่อเย็น:อุณหภูมิ:20-25ºC,อัตราการไหล>5L/min,ความดันไฮดรอลิก>0.1MPa

          

 

ใบรับรอง

 

สเปกโตรมิเตอร์

 

ออพติกส์ชนิด Czerny-Turner

 

ทางยาวโฟกัส 1,000 มม

 

Grating Ion Beam Etching Holographic Grating, 3600L/mm หรือ 2400L/mm

 

การกระจายเชิงเส้นซึ่งกันและกัน 0.26 นาโนเมตร/มม

 

ความละเอียด ≤0.007nm (ตะแกรง 3600 เส้น);≤0.015nm (ตะแกรง 2400 เส้น)

 

ช่วงความยาวคลื่น 3600 เส้นตะแกรง:(190nm~500) นาโนเมตร;ตะแกรง 2400 เส้น:(190nm~800) nm

 

ก้าวขั้นต่ำของสเต็ปปิ้งมอเตอร์ ≤0.0006 นาโนเมตร

 

ออกจากสลิต12μm

 

สลิตทางเข้า 10μm

 

ประสิทธิภาพของตัวแปลงตาแมว

 

ข้อมูลจำเพาะของท่อโฟโตมัลติพลายเออร์: R293/R928

 

HV เชิงลบบน PMT 0-1000V

 

ความเสถียร <0.05%

 

ประสิทธิภาพโดยรวม ช่วงความยาวคลื่นของการสแกน: 195nm~500nm(3600L/mm line grating);195nm~800nm(2400L/mm line grating)

 

การทำซ้ำ: RSD (ค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานสัมพัทธ์) ≤1.5%

 

ความเสถียร: RSD (ค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานสัมพัทธ์) ≤2%

 

นิทรรศการ:

บริษัท ของเรา:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

โรงงาน: